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| 产品特性：遮光吸收片 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 品牌：日本SHIBUYA涉谷光学 | 型号：TF152 |
| 类型：光学元件 | 外形尺寸：400×400 mm | 产品用途：光学系统 |
| 规格：1个波长 |
日本SHIBUYA涉谷光学
超高真空窗 TF 型
它是世界上一家通过了国际热核聚变实验反应器 （ITER） 超高真空窗口测量的严格采用标准的公司，该反应堆正在日本、美国、欧盟、俄罗斯、中国和韩国的六个地区推广。 超高真空窗口是观察（测量）真空容器内部的窗口，通过使用特殊的密封技术，可以将各种水晶窗口材料和石英窗口材料压接并安装在具有弹性结构的金属上，从而在超高真空范围内使用。
与日本原子能机构 （JAEA） PAT?P 共同开发
安装窗口材料的种类（可进行各种涂层和高精度抛光）
CaF2、MgF2、Lif、Ge、Si、KRS-5、BK7、石英、合成石英、铅玻璃、蓝宝石等。
标准产品
| 型号 | 法兰外径 | 法兰厚度 | 窗口有效直径 | ≈ 长度 |
|---|---|---|---|---|
| TF34 系列 | 34 | 10.0 | 12 | 3 |
| TF70 系列 | 70 | 12.7 | 33 | 4 |
| TF70W 系列 | 70 | 18.5 | 33 | 9 |
| TF114 系列 | 114 | 17.5 | 60 | 6 |
| TF152 系列 | 152 | 20.0 | 100 | 7 |
| TF203 系列 | 203 | 22.0 | 140 | 8 |
* 长度可能因窗户材料的类型而异。
* 由于产品的改进，规格、形状和尺寸如有更改，恕不另行通知。
特征
也可以制造超大直径。
窗户上没有热变形
由于没有热组装过程，因此可以获得无失真的高精度传输波长。
保持表面精度
例如，组装 λ/10 窗口后，λ/10 可以保持在 ≈80% 的区域（不包括外围）。 （标准产品为双面光学抛光）
AR 涂料等
单独对窗户进行涂层后，没有***，因为它是在没有热处理的情况下组装的。 请告诉我们透射波长或透射波段以及所需的透射率。
抗裂结构
由于窗户保持弹性，即使螺栓拧紧不均匀，也很难出现裂纹和泄漏。
耐压结构
即使真空侧变为正压，也不会发生泄漏或窗口干扰。
非磁性、非激活
它不会干扰磁场，可以在高辐射环境中使用。 （标准法兰：SUS304L、定制产品：SUS316L等）
抗辐射性
伽马射线 1×106 伦琴/小时，总计 6.3×109 或更高。 （但是，在 ZnSe 的情况下）
抗冲击性
XYZ 方向超过 30G/3000 次循环。
HE 泄漏量
<1×
烘烤温度
<200°C 但是，由于机械密封的原因，根据窗口材料的尺寸和类型，有些会有所不同。 请联系我们。
连接法兰
CF 标准法兰
透射波长带
提供各种窗口，可在紫外线 ~ 可见光 ~ 红外范围内引入真空。
欢迎特殊规格
涂层产品、高表面精度、高压、镜片、楔子、冲泡器等。
提交检验报告
他漏，常温下的食物方法。
超高真空窗 VX 型
与日本日本原子能机构联合开发，是世界上直径的超高真空窗口（金属密封）。 它非常适合用作高输出、大直径和照射不均匀的氙灯 （172 nm） 光源的窗口。
氙光源是光学清洗不可或缺的，可以瞬间清洗和改性硅片，也可以清洗和改性 FPD 和太阳能电池。 我们相信，它不仅会***提高生产率，还会提高质量并***提高产量。
照片中的法兰是 CF（双边型），但其他法兰和特殊规格也是可能的。
主要应用
用于高功率氙灯，用于半导体制造设备的晶圆清洁和表面改性
用于大功率氙灯，用于太阳能电池制造设备的清洁和表面改性
用于 FPD 制造设备的清洁和表面改性的大功率氙灯
用于 OLED 制造设备的清洁和表面改性的大功率氙灯
用于测量和观察大规模同步辐射设施、高强度加速器设施、加速器相关聚变设施（如瑞士大型加速器设施 （CERN） 和法国 ITER 组织）的真空窗口
特征
有效直径可达 φ440 mm 或更大。 （世界）
这是非常经济的，因为窗户材料可以拆卸和更换。 （全球***）
如果它被飞溅物弄脏，请去除窗户材料并重新抛光，使其再次焕然一新。 一次重磨减少约 0.2 毫米，因此，例如，如果您提前将窗户材料的厚度额外增加 5 毫米，则可以重新磨磨大约 25 次。 换句话说，一个真空窗大致相当于 25 个真空窗。 它***了经济性和高性价比。
门窗材料密封方法（世界***）
由于是保持弹性的特殊机械密封，不易受法兰变形的影响，是不易引起窗材变形、破损或泄漏的结构。
无热变形窗口（世界***）
由于没有热组装过程，因此可以获得更***的传输波长。
***排放（世界***）
结构构件仅为 SUS 和 AI，不使用树脂和密封剂等有机物质。 此外，我们不使用任何污染真空容器内部的高蒸气压金属，例如 Zn 和 Pb。
无磁性、无放射性（世界***）
我们不使用可伐合金，这是一种铁磁性和强活化金属，也不使用 Invar。
尽管直径超大，但烘烤还行（世界***）
它配备了自我校正功能，可以吸收窗口材料和法兰之间的热膨胀差异，因此尽管直径超大，但烘烤还可以。 但是，根据烘烤温度，可以使用水冷结构。
真空区
<可用于
HE 泄漏量
<0.1×
当 FPD 等工件面积较大时，通过交替垂直配置光源灯和平行移动工件，即使在大面积上也能实现均匀照射。
VX 型号规格（参考示例）
| 型号名称 | VX305W 系列 | VX406W 系列 | VX506W 系列 | VX606W 系列 |
|---|---|---|---|---|
| 有效直径 | ~170 毫米 | ~220 毫米 | ~340 毫米 | ~440 毫米 |
| 窗口材料 | Suprasil-f310， 172nm， 透射率 ≈86% | |||
| 窗口厚度 | 7 毫米 | 9 毫米 | 13 毫米 | 20 毫米 |
| 长度 mm | ≒18.5 | ≒19 | ≒18.5 | ≒20 |
| 水冷夹套 | 存在 | 存在 | 存在 | 存在 |
| 兼容晶圆 | 6 英寸 | 8 英寸 | 12 英寸 | 16 英寸 |
| 法兰尺寸 | φ305×44毫米 | φ406×47毫米 | φ506×50毫米 | φ606×60毫米 |
*以上为示例。 规格可能会更改，因此请联系我们了解详情。
供应各类工业品:COCORES编码器、LAMBDA拉姆达、NIRECO尼利可、IJMA饭岛电子、AIKOH爱光、CEDAR思达、OBISHI大菱、RIKEN理研、AND爱安德、加野KANOMAX、PISCO匹士克、shibuya涩谷光学、SSD离子棒、MUSASHI武藏点胶机（点胶机）,Nordson诺信EFD（点胶机），IEI岩下（点胶机），EPSON爱普生机器人，KURABO仓纺（脱泡机），日本THINKY新基脱泡机，KLEENTEK可滤特（静电净油机），TAGAWA十川（软管），USHIO牛尾（点光源），SHOWA昭和电机（鼓风机），TSUBAKI椿本链条，KIKUSUI菊水（电源），CEDAR思达（扭力测试仪），MEISEI迈泽（电热剥线器）、artray相机、TAKASAGO高砂制作所（直流电源）、KOSAKA小坂（台阶仪）、HORIBA堀场仪器（分析仪）、cosmo科斯莫（气体测试仪）、Hitachi日立科学仪器、RION理音（测振仪）、HOKUTO DENKO北斗电工、TML东京测器、SIGMAKOKI西格玛光机、FLOWELL 福威、ASAHI旭有机材、KYOWA共和（应变片）、ONOSOKKI小野（传感器）、FUJIKURA藤仓（单向阀）、SK新泻精机（水平测量尺）SKSATO佐藤（温度记录仪）、TECLOCK得乐（硬度计）、AND爱安得（电子天平）、KEM京都电子（水分仪）、TOHNICHI东日（扭力扳手）、Heishin兵神（定子）、TOKKYOKIKI特许机器（抗震台）、ULVAC爱发科泵、IWAKI易威奇（泵）、kashiyama柏山（干式泵）、MARUYAMA丸山(泵)、、SIMCO思美高（离子棒），SSD西西蒂(离子风扇)，KASUGA春日(离子棒)、Kanetec强 力(高斯计)、SAKURAI樱井(无尘纸)、NIRECO尼利可(传感器)、TOFCO东富科(流量计)、eoptics颐光科技(反射膜厚仪)、TOKYO KE***东京计装(超声波液位计)、RKC理化工业(数显控制器)、YAMATO雅玛拓（恒温箱）、YAMADA雅玛达(隔膜泵)、KOFLOC小岛(浮子流量计）、KITZ开滋(阀门)、CKD喜开理(气缸)、NYS西村化工(半导体)、三菱重工MHI 蜗轮减速机、TOYO光通信器、FUJILATEX***精器、MIKI PULLEY三木普利、KONSEI近藤製作所 、SGK昭和技研、KOSEMK考世美、hakko八光电机
李知愉 13122891488
